In a small rotary actuator having a rotor and a plurality of oscillators, each having a piezoelectric element that is excited by application of energy thereto so that the piezoelectric element oscillates at a resonance frequency thereof, the resonance frequency of the respective oscillators varies to some degree. This variation reduces the efficiency of rotation of the rotor. In order to reduce this variation, one or more of the piezoelectric elements of the oscillators is etched so that its resonance frequency is increased to match the resonance frequency of the other oscillators.

In kleine roterende actuator die een rotor en een meerderheid van oscillatoren heeft, variëert elk die een piezoelectric element heeft dat door toepassing van energie daaraan wordt opgewekt zodat het piezoelectric element daarvan bij een resonantiefrequentie oscilleert, de resonantiefrequentie van de respectieve oscillatoren aan één of andere graad. Deze variatie vermindert de efficiency van omwenteling van de rotor. Om deze variatie te verminderen, worden één of meer van de piezoelectric elementen van de oscillatoren geëtst zodat zijn resonantiefrequentie wordt verhoogd om de resonantiefrequentie van de andere oscillatoren aan te passen.