A micro electromechanical switch is formed on a substrate using a microplatform structure suspended on a spring suspension. The spring suspension is attached on one end to an anchor structure and extends in a substantially octagonal direction over a signal line. The microplatform has a shorting bar positioned facing a gap in the signal line and an electrical corset is formed on the signal fine to form a capacitor structure which is electrostatically attractable toward a bottom electrode upon application of a selected voltage. The switch functions from DC to at least 50 GHz with an electrical isolation of 35 dB and an insertion loss of 0.5 dB at 20 GHz. The RF switch has applications in telecommunications including wireless communications.

Un micro interruttore elettromeccanico è formato su un substrato usando una struttura del microplatform sospesa su una sospensione della molla. La sospensione della molla è fissata su un'estremità ad una struttura dell'ancoraggio e si estende in un senso sostanzialmente octagonal sopra un segnale. Il microplatform ha una barra di cortocircuito posizionata affrontando uno spacco nel segnale e un corsetto elettrico è formato sull'indennità del segnale per formare una struttura del condensatore che è elettrostaticamente attractable verso un elettrodo inferiore sull'applicazione di una tensione selezionata. L'interruttore funziona da CC almeno a 50 gigahertz con un isolamento elettrico del dB 35 e di una perdita di inserzione di 0.5 dB a 20 gigahertz. L'interruttore di rf ha applicazioni nelle telecomunicazioni compreso le comunicazioni senza fili.