The invented apparatus can be used to monitor the radiant energy delivered to a substrate for treatment thereof. The radiant energy can be laser light or light generated by a flash-lamp, for example. The apparatus includes an energy-tapping member such as a beam splitter, that is positioned between a source and optical element(s) used to generate and modify radiant energy, and a substrate to be treated with the radiant energy. The energy-tapping member receives radiant energy from the source and optical element(s), and divides the radiant energy from the source and optical element(s) into two portions. The first portion of radiant energy travels from the energy-tapping member to the substrate for treatment thereof. The apparatus includes an energy sensor such as a photodiode, arranged to receive the second portion of radiant energy. The energy sensor generates a signal indicative of the radiant energy supplied to the substrate. The energy-tapping member is preferably positioned optically downstream from the optical element(s) as the last or near last element encountered by the radiant energy. As so positioned, thermal or mechanical drifts in the optical element(s) have little or no impact on the ability of the invented apparatus to determine the amount of radiant energy supplied to the substrate. The apparatus can include a processing unit coupled to receive the sensor signal, which integrates the sensor signal to generate a signal indicative of the amount of radiant energy supplied to the substrate. The processing unit can also generate a visual display of the amount of radiant energy supplied to the substrate. The invention also includes related methods.

Изобретенный прибор можно использовать для того чтобы контролировать излучающую энергию поставленную к субстрату для обработки thereof. Излучающей энергией может быть светом лазера или светом произведенными вспышк-svetil6nikom, например. Прибор вклюает энерги-vystukiva4 член such as splitter луча, то расположено между источником и оптически element(s) используемым для того чтобы произвести и доработать излучающую энергию, и субстратом, котор нужно обработать с излучающей энергией. Энерги-vystukiva4 член получает излучающую энергию от источника и оптически element(s), и разделяет излучающую энергию от источника и оптически element(s) в 2 части. Первая часть излучающей энергии перемещает от энерги-vystukiva4 члена к субстрату для обработки thereof. Прибор вклюает датчик энергии such as фотодиод, аранжированные, что получил вторую часть излучающей энергии. Датчик энергии производит сигнал признаковой излучающей энергии поставленной к субстрату. Энерги-vystukiva4 член предпочтительн расположен оптически ниже по течению от оптически element(s) как последний или почти последний элемент столкнутый излучающей энергией. Как так после того как я расположены, термально или механически смещения в оптически element(s) имеют little or no удар на способности изобретенного прибора обусловить количество излучающей энергии поставленное к субстрату. Прибор может включить блка обработки соединенный для того чтобы получить сигнал датчика, который интегрирует сигнал датчика произвести сигнал признаковой количества излучающей энергии поставленного к субстрату. Блка обработки может также произвести визуальный индикатор количества излучающей энергии поставленного к субстрату. Вымысел также вклюает родственные методы.