Copolymers containing repeating units polymerized from at least one polycyclic monomer and at least one acrylic monomer are disclosed. The copolymer is formed by addition polymerization in the presence of a Group VIII transition metal catalyst. The copolymers contain hydrocarbyl and/or functional substituents pendant from the polymer backbone. In one embodiment the copolymer contains pendant ester substituents containing acid labile groups. The copolymers are useful as resist materials that are sensitive to imaging radiation.

Die Copolymere, die enthalten, Maßeinheiten wiederholend, polymerisierten von mindestens einer polyzyklischen Monomere und mindestens werden eine Acrylmonomere freigegeben. Das Copolymer wird durch Hinzufügung Polymerisierung in Anwesenheit eines Gruppe VIII Übergang Metallkatalysators gebildet. Die Copolymere enthalten das hydrocarbyl und/oder Funktionssubstituenten, die vom Polymer-Plastik Rückgrat hängend sind. In einer Verkörperung enthält das Copolymer die hängenden Estersubstituenten, die saure labile Gruppen enthalten. Die Copolymere sind nützlich wie widerstehen Materialien, die für Belichtung Strahlung empfindlich sind.