A ferroelectric or high dielectric constant capacitor having a multilayer lower electrode comprising at least two layers--a platinum layer and a platinum-rhodium layer--for use in a random access memory (RAM) cell. The platinum layer of the lower electrode adjoins the capacitor dielectric, which is a ferroelectric or high dielectric constant dielectric such as BST, PZT, SBT or tantalum pentoxide. The platinum-rhodium layer serves as an oxidation barrier and may also act as an adhesion layer for preventing separation of the lower electrode from the substrate, thereby improving capacitor performance. The multilayer electrode may have titanium and/or titanium nitride layers under the platinum-rhodium layer for certain applications. The capacitor has an upper electrode which may be a conventional electrode or which may have a multilayer structure similar to that of the lower electrode. Processes for manufacturing the multilayer lower electrode and the capacitor are also disclosed.

Een ferroelectric of hoge diëlektrische constantecondensator die een multilayer lagere elektrode heeft bestaand minstens uit twee lagen -- een platinalaag en een platina-rhodium laag -- voor gebruik in cel een van het directe toeganggeheugen (RAM). De platinalaag van de lagere elektrode grenst aan de diëlektrische condensator, die een ferroelectric of hoge diëlektrische constante diëlektrisch zoals BST, van PZT, van SBT of van het tantalium pentoxide is. Dient de platina-rhodium laag als oxydatiebarrière en kan ook als adhesielaag handelen voor het verhinderen van scheiding van de lagere elektrode het substraat, daardoor verbeterend condensatorprestaties. De multilayer elektrode kan titanium en/of van het titaniumnitride lagen onder de platina-rhodium laag voor bepaalde toepassingen hebben. De condensator heeft een hogere elektrode die een conventionele elektrode kan zijn of die een multilayer structuur kan hebben gelijkend op dat van de lagere elektrode. De processen om de multilayer lagere elektrode en de condensator worden te vervaardigen ook onthuld.