A preexposure apparatus comprises a film supply station ST1 for arranging a film cartridge 14 containing a film 12 accommodated therein, a film-drawing station ST3 for automatically drawing the film 12 over its entire length, an exposure station ST5 for exposing a predetermined portion of the drawn film 12 with an image by the aid of an exposure section 32, a winding station ST6 for automatically rewinding the film 12 after the exposure into the film cartridge 14, and a withdrawing station ST8 for withdrawing the film cartridge 14. Accordingly, the predetermined portion of the film can be preexposed with a desired image automatically and efficiently.

Un appareillage de preexposure comporte une station ST1 d'offre de film pour arranger une cartouche 14 de film contenant un film 12 adapté là-dedans, une station dedessin ST3 pour dessiner automatiquement l'excédent du film 12 son longueur entière, une station ST5 d'exposition pour exposer une partie prédéterminée du film tiré 12 avec une image par l'aide d'une section 32 d'exposition, une station ST6 d'enroulement pour rebobiner automatiquement le film 12 après l'exposition dans la cartouche 14 de film, et une station se retirante ST8 pour retirer la cartouche 14 de film. En conséquence, la partie prédéterminée du film peut être preexposed avec une image désirée automatiquement et efficacement.

 
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< Processing apparatus for coating substrate with resist and developing exposed resist including inspection equipment for inspecting substrate and processing method thereof

> APS camera for ensuring the cassett indicator is in the parked position

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