There are herein disclosed a poly{1-(1-alkoxyalkoxy)-4-(1-methylethenyl)benzene} having a narrow molecular weight distribution, for example, a poly{1-(1-alkoxyethoxy)-4-(1-methylethenyl)benzene} or a poly{1-(2-tetrahydrofuranyloxy)-4-(1-methylethenyl)benzene} which is useful as a chemical amplification type positive resist material; a preparation process of the polymer which comprises reacting industrially easily available 4-(1-methylethenyl)phenol with a vinyl ether to produce an alkoxyalkoxy compound, and then carrying out an anionic polymerization; and a preparation process of poly{4-(1-methylethenyl)phenol} having a narrow molecular weight distribution useful as a tease polymer for a chemical amplification type positive resist material which comprises reacting the above-mentioned polymer with a protonic acid in the presence of an organic solvent.

Er hierin onthuld worden poly{1-(1-alkoxyalkoxy)-4} hebbend een smalle moleculegewichtdistributie, bijvoorbeeld, poly{1-(1-alkoxyethoxy)-4} of poly{1-(2-tetrahydrofuranyloxy)-4} welke nuttig is aangezien een chemisch versterkingstype positief zich tegen materiaal verzet; een voorbereidingsproces van het polymeer dat reagerend industrieel gemakkelijk uit beschikbare 4-(1-methylethenyl)phenol met een vinylether bestaat om een alkoxyalkoxysamenstelling te produceren, en dan uitvoerend een anionische polymerisatie; en een voorbereidingsproces van poly{4-(1-methylethenyl)phenol die} een smalle nuttige moleculegewichtdistributie heeft aangezien polymeer voor een chemisch versterkingstype positief plaag verzet zich tegen materiaal dat reagerend uit het bovengenoemde polymeer met een protonic zuur in aanwezigheid van een organisch oplosmiddel bestaat.