A method and apparatus for abating a compound in a substrate processing system's effluent gases. The method of the present invention begins by introducing ozone and the effluent gases into an abatement device's combustion chamber. Energy is then applied to the effluent gas and ozone. The application of energy, such as thermal or radio frequency energy, then causes a reaction in and between the effluent gases and the ozone, thereby rendering the compound inert. The resultant gases produced are then exhausted out of the combustion chamber.

Un método y un aparato para disminuir un compuesto en los gases efluentes del substrato de un sistema de proceso. El método de la actual invención comienza introduciendo el ozono y los gases efluentes en cámara de combustión de un dispositivo de la disminución. La energía entonces se aplica al gas efluente y al ozono. El uso de la energía, tal como energía de la radiofrecuencia termal o, entonces causa una reacción en y entre los gases efluentes y el ozono, de tal modo haciendo el compuesto inerte. Los gases resultantes producidos entonces se agotan fuera de la cámara de combustión.