A vaporizing apparatus has a vaporizing container into which a liquid raw material is introduced and which is made of metal, a heater for heating the vaporizing container to vaporize liquid introduced into the vaporizing container and a metal nozzle (an electrode) disposed in the vaporizing container in such a manner that the nozzle is electrically insulated from the vaporizing container. Moreover, the vaporizing apparatus has a cleaning-solution supply apparatus for supplying, to the inside portion of the vaporizing container, a cleaning solution for solving residues generated in the vaporizing container and a plasma generating power source for supplying high-frequency electric power to a position between the nozzle and the vaporizing container to generate plasma in the vaporizing container by using the vaporized cleaning solution.

Un aparato que se vaporiza tiene un envase que se vaporiza en el cual se introduzca una materia prima líquida y el cual se haga del metal, un calentador para calentar el envase que se vaporiza para vaporizar el líquido introducido en el envase que se vaporiza y un inyector del metal (un electrodo) dispuestos en el envase que se vaporiza de manera que el inyector se aísle eléctricamente del envase que se vaporiza. Por otra parte, el aparato que se vaporiza tiene un aparato de la fuente de la limpieza-solucio'n para proveer, a la porción interior del envase que se vaporiza, a una solución de la limpieza para los residuos que solucionan generados en el envase que se vaporiza y a un plasma que genera la fuente de energía para proveer energía eléctrica de alta frecuencia a una posición entre el inyector y el envase que se vaporiza de generar plasma en el envase que se vaporiza usando la solución de limpieza vaporizada.