A probe chip suitable for observing the vertical walls of steps in a specimen includes a cantilever-like elastic member section extending from a support section, and a probe section at the free end of the elastic member section. The probe section is in the form of a triangular flat plate. Three ridges are terminated at two vertexes at the tip of the probe section. The direction normal to the plane of the probe section section is parallel to the ridge connecting the two points at the tip. These two terminal points at the tip of the probe section act as a virtual probe and interact with the surface of the specimen. The direction normal to the plane of the elastic member section is nonparallel to the direction normal to the plane of the probe section.

Una viruta de la punta de prueba conveniente para observar las paredes verticales de pasos en un espécimen incluye a voladizo-como la sección elástico del miembro que extiende de una sección de la ayuda, y una sección de la punta de prueba en el extremo libre de la sección elástico del miembro. La sección de la punta de prueba está en la forma de una placa plana triangular. Tres cantos se terminan en dos cimas en la extremidad de la sección de la punta de prueba. La dirección normal al plano de la sección de la sección de la punta de prueba es paralela al canto que conecta los dos puntos en la extremidad. Estos dos puntos terminales en la extremidad de la sección de la punta de prueba actúan como punta de prueba virtual y obran recíprocamente con la superficie del espécimen. La dirección normal al plano de la sección elástico del miembro es nonparallel a la dirección normal al plano de la sección de la punta de prueba.