A visualizing method for the working condition of the semiconductor's manufacturing machines is disclosed. Firstly, the datas of different stages in a processing line are collected from the key-stage report of the processing line. The datas are "MAIN", "MRUN", "AFTER" and "PRE", meaning the working condition of the stage. Every stage has a group of data. Specified stage-pairs in the processing line are determined. These pairs are photolithography and etching, photolithography and implanting and others. The data of each stage-pair is sequentially put in a bar chart. Then the pairs are sequentially arranged in the order of the processing line. One pair has a supplied stage and a requested stage. From the bar chart, supervisors of the processing line know the condition and the priority of every pair, and the relationship between the supplied stage and requested stage. According to the visual presentation, the supervisors can easily make decisions of the allocation of the tools in the processing line.

Um método visualizando para a condição de funcionamento das máquinas do manufacturing do semicondutor é divulgado. Firstly, os datas de estágios diferentes em uma linha processando são coletados do relatório do chave-estágio da linha processando. Os datas são "CANO PRINCIPAL", "MRUN", "APÓS" e "PRE", significando a condição de funcionamento do estágio. Cada estágio tem um grupo dos dados. Os estágio-pares especificados na linha processando são determinados. Estes pares são photolithography e gravura a água-forte, photolithography e implanting e outro. Os dados de cada estágio-par são postos sequencialmente em uma carta de barra. Os pares são arranjados então sequencialmente na ordem da linha processando. Um par tem um estágio fornecido e um estágio pedido. Da carta de barra, os supervisores da linha processando sabem a condição e a prioridade de cada par, e o relacionamento entre o estágio fornecido e pediram o estágio. De acordo com a apresentação visual, os supervisores podem fàcilmente fazer decisões do alocamento das ferramentas na linha processando.