An apparatus for transferring a wafer carrier is capable of recognizing both a bar code of the wafer carrier and a vision mark for position correction attached to a processing equipment. It is possible to recognize both the bar code and the vision mark using a single image recognition device, by determining a required focal length for a lens in the image recognition device, and by determining the required size of the vision mark. Therefore, a separate bar code reader to recognize the bar code is not required in the processing equipment. This results in a reduced cost and increased productivity, since the processing equipment need not to be shut down for installation of a bar code reader.

Um instrumento para transferir um portador do wafer é capaz de reconhecer um código de barra do portador do wafer e uma marca da visão para a correção da posição unida a um equipamento processando. É possível reconhecer o código de barra e a marca da visão usando um único dispositivo do recognition da imagem, determinando um comprimento focal requerido para uma lente no dispositivo do recognition da imagem, e determinando o tamanho requerido da marca da visão. Conseqüentemente, um leitor de código separado da barra para reconhecer o código de barra não é requerido no equipamento processando. Isto resulta em um custo reduzido e aumentou a produtividade, desde que o equipamento processando não necessita ser fechado para baixo para a instalação de um leitor de código da barra.