A method of and apparatus for controlling the potential of a plasma including a metal-walled chamber and a conductive coil which carries a radio-frequency current and is wrapped around the metal-walled chamber to produce a plasma within the chamber. A filament made of refractory metal has two ends, and a central portion formed in the shape of a probe. The central portion of the filament extends into the interior of the chamber and the two ends of the filament pass through a wall of the chamber to the exterior of the chamber. A heating power supply is connected to the two ends to the filament and to the chamber wall for heating the filament to a predetermined temperature above that of the plasma. The heated filament produces thermionic emissions from the filament to the plasma in order to control the plasma potential and eliminate unipolar arcing at the chamber wall.

Метод и прибор для контролировать потенциал плазмы включая металл-ogorojennuh камеру и проводную катушку носит radio-frequency в настоящее время и обернута вокруг металл-ogorojenno1 камеры для того чтобы произвести плазму внутри камера. Нить сделанная из тугоплавкого металла имеет 2 конца, и центральной сформированную часть в форме зонда. Центральная часть нити удлиняет в интерьер камеры и 2 конца нити проходят через стену камеры к экстерьеру камеры. Источник питания топления соединен к 2 концам к нити и к стене камеры для нагревать нить к предопределенной температуре над той из плазмы. Нагретая нить производит термоионные излучения от нити к плазме для того чтобы контролировать потенциал плазмы и исключать униполярный образовывать дугу на стене камеры.