A vapor delivery system for delivering a vapor-phase reactant to a chemical process reactor at a substantially constant flow rate. The vapor delivery system includes a source of a reactant material, means for converting the reactant material to a vapor and for maintaining a predetermined volume of vapor in a vapor phase, a flow controller for providing a controlled flow of the vapor-phase reactant to the process reactor, means for detecting a parameter related to the availability of the vapor-phase reactant material to the process reactor from the flow controller, and means responsive to the detection signal for controlling the supply of reactant material to the vapor converter. In one embodiment the parameter is the pressure of the vapor within the predetermined volume. In another embodiment the parameter is the fluid conductance of a control valve within the flow controller. The vapor delivery system of the present invention can operate in either a substantially continuous or a noncontinuous delivery mode.

Un sistema de la entrega del vapor para entregar un reactivo de la vapor-fase a un reactor del proceso químico en un caudal substancialmente constante. El sistema de la entrega del vapor incluye una fuente de un material el reactivo, medios para convertir el material el reactivo a un vapor y para mantener un volumen predeterminado del vapor en una fase del vapor, un regulador del flujo para proporcionar un flujo controlado del reactivo de la vapor-fase al reactor de proceso, medios para detectar un parámetro relacionado con la disponibilidad del material el reactivo de la vapor-fase con el reactor de proceso del regulador del flujo, y significa responsivo a la señal de la detección para controlar la fuente de material el reactivo al convertidor del vapor. En una encarnación el parámetro es la presión del vapor dentro del volumen predeterminado. En otra encarnación el parámetro es la conductancia flúida de una válvula de control dentro del regulador del flujo. El sistema de la entrega del vapor de la actual invención puede funcionar en un modo substancialmente continuo o noncontinuous de la entrega.

 
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