A chemical mechanical polishing composition comprising an oxidizing agent
and at least one catalyst having multiple oxidation states, the
composition being useful when combined with an abrasive or with an
abrasive pad to remove metal layers from a substrate.
Una composizione di lucidatura meccanica chimica che contiene un agente ossidante ed almeno un catalizzatore che hanno ossidazione multipla dichiara, la composizione che รจ utile una volta unita con un abrasivo o con un rilievo abrasivo per rimuovere gli strati del metallo da un substrato.
