Proposed is a positive- or negative-working chemical-sensitization
photoresist composition having advantages in respect of the contrast and
resolution of patterning, photo-sensitivity and cross sectional profile of
the patterned resist layer as well as in respect of stability of the
latent image formed by pattern-wise exposure to light before post-exposure
baking treatment. The composition comprises: (A) 100 parts by weight of a
film-forming resinous ingredient which causes a change, i.e. increase or
decrease, of solubility in an aqueous alkaline solution by the interaction
with an acid; and (B) from 0.5 to 20 parts by weight of a
radiation-sensitive acid-generating agent which is a diazomethane compound
represented by the general formula
R.sup.1 --SO.sub.2 --C(=N.sub.2)--SO.sub.2 --R.sup.2,
in which R.sup.1 and R.sup.2 are each, independently from the other, a
monovalent cyclic group substituted on the cyclic nucleus by an
acid-dissociable group such as a tert-butoxycarbonyl and acetal groups.
Several novel diazomethane compounds are disclosed.
È proposto un positive- o la composizione difunzionamento nel photoresist di prodotto-sensibilizzazione che presenta i vantaggi rispetto al contrasto ed alla risoluzione di modello, il photo-sensitivity ed il profilo rappresentativo del modellato resiste allo strato come pure rispetto a stabilità dell'immagine latente costituita da esposizione modello-saggia a luce prima del trattamento post-esposizione di cottura. La composizione contiene: (A) 100 parti del peso di un ingrediente resinoso filmogeno che causa un cambiamento, cioè aumento o diminuzione, di solubilità in una soluzione alcalina acquosa dall'interazione con un acido; e (B) da 0.5 a 20 parti a peso di un agente digenerazione sensibile alla radiazione che è un residuo del diazometano ha rappresentato dalla formula generale R.sup.1 -- SO.sub.2 -- C(=N.sub.2) -- SO.sub.2 -- R.sup.2, in cui R.sup.1 e R.sup.2 sono ciascuno, indipendentemente dall'altro, un gruppo ciclico monovalente sostituito sul nucleo ciclico da un gruppo dell'acido-dissociable quali un tert-butoxycarbonyl ed i gruppi dell'acetale. Parecchi residui del diazometano del romanzo sono rilevati.
